臭氧除臭杀菌装置是用于制取臭氧的设备装置。臭氧易于分解无法储存需现场制取现场使用(但是在特殊的情况下是可以进行短暂时间的储存)，凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在自来水，污水，工业氧化，空间灭菌等领域广泛应用。
臭氧是的广谱高效杀菌消毒剂。采用空气或氧气为原料利用高频高压放电产生臭氧。臭氧比氧分子多了一活泼的氧原子臭氧，化学性质特别活泼，是一种强氧化剂，在一定浓度下可迅速杀灭空气、液体中的细菌。没有任何有毒残留，不会形成二次污染，被誉为“最清洁的氧化剂和消毒剂”。
臭氧是一种的消毒剂，对细菌、病菌、真菌、霉菌芽胞、病毒等微生物都具有的杀灭力。由于臭氧为弥漫气体，消毒全面，故消毒杀菌效果好。
利用氧化性来杀死微生物以达到灭菌效果的化合物还有很多，比如常见的氯气等。但是，这些杀菌剂不但比臭氧杀菌速度慢，而且一般的杀菌对人体有害。臭氧杀菌与一般杀菌剂不同，因为多余的臭氧可以很快分解成氧气，故不存在二次污染问题。
臭氧灭菌属于生物化学氧化反应，臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖所必须的酶;也可直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏;
还可以渗透胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解死亡，并且将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热原(细菌病毒代谢产物、内毒素)等溶解变性灭亡。纵观无菌技术对微生物作用的原理可分为抑菌、杀菌和溶菌三种，应用臭氧作灭菌剂是属于溶菌。
